石英坩堝對于高純度石英砂的具體要求指標
石英坩堝使用的石英砂要求主要在于純度、氣液包裹體、粒度分布、一致性,雜質成分高會影響坩堝的耐溫性,還會出現氣泡、色斑、脫皮等現象,嚴重影響石英坩堝的質量。
1、純度
石英坩堝內層對高純石英砂的純度要求更高,要求達到5N以上(SiO2=99.998%),而石英坩堝外涂層、石英管、石英棒、石英舟和石英錠等產品達到4N5即可。
2、粒度分布
石英坩堝內層對高純石英砂的粒度分布要求更均勻,一般要求粒徑在0.1-0.3mm之間,且在該粒徑范圍的累積質量分數應大于或等于90%。而石英坩堝外層的粒度分布要求相對較低。
3、氣液包裹體
石英坩堝內層對高純石英砂的氣液包裹體含量要求更嚴格,要求控制在較低水平。
4、雜質含量
石英坩堝使用的石英砂要求雜質含量低于0.02%,石英坩堝內層對高純石英砂的雜質成分要求更低,要求鉀、鋰、鈉等元素含量低,不超過2微克每克。石英坩堝外層的雜質要求鉀、鋰、鈉等堿金屬含量應小于2.5μg/g。
5、抗析晶性
石英坩堝使用的石英砂要求在高溫下不易析出晶體,以保證坩堝的質量和穩定性。
6、透明度
石英坩堝使用的石英砂要求在高溫下不易變黃,以保證坩堝內涂層的穩定性和質量。
綜上所述,石英坩堝內、外層對高純度石英砂的具體不同要求指標主要是為了滿足不同層面的使用需求,保證石英坩堝的質量和穩定性,以及在使用過程中能夠耐溫、抗析晶等。
來源:光伏研習社
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