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純度是石英玻璃的重要指標，對理化性能和使用性能影響甚大，如失透性、高溫、強度、軟化點、光的傳導、熱穩定性、化學穩定性、耐輻射性、熒光特性等；此外，用于半導體工業的石英玻璃，對純度的要求更為苛刻，微量的雜質將給半導體材料的電性能和壽命以及集成度帶來嚴重的影響。由于半導體材料的純度要求控制在ppb數量級以下，因此石英玻璃則應控制在PPm數量級以適應半導體工業的需要。B的分凝系數近于1,最難除掉，是最有害的雜質之一，Cu、Fe、Ti等影響半導體的少子壽命，K、Na、Li是單晶材料產生微缺陷的有害雜質。
名稱 | Al | Fe | Ca | Mg | Ti | Cu | Mn | Ni |
電熔石英玻璃 | 32 | 2.0 | 1.5 | 1.5 | 2.08 | 0.2 | 0.27 | 0.2 |
氣煉石英玻璃 | 16 | 0.92 | 1.5 | 0.4 | 1.0 | 0.01 | 0.05 | <0.3 |
電弧石英玻璃 | 10.4 | 0.3 | 0.6 | 0.3 | 1.35 | 0.05 | <0.05 | <0.3 |
合成高純石英玻璃 | 0.37 | 0.31 | 0.27 | 0.04 | 0.03 | 0.03 | 0.01 | <0.03 |
紅外光學石英玻璃 | 35 | 1.45 | 2.68 | 1.32 | 1.06 | 0.22 | 0.07 | <0.03 |
紫外光學石英玻璃 | 3.9 | 0.4 | 3.5 | 1.2 | 0.45 | 0.1 | 0.02 | 0.06 |
不透明石英玻璃 | 56 | 7.4 | 15.3 | 1.57 | 1.5 | 0.2 | 0.1 | - |
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